ประวัติความเป็นมาของการพัฒนาเครื่องมือวัดแรงดัน

ในปี ค.ศ. 1843 นักวิทยาศาสตร์ชาวฝรั่งเศส Lucien Vidi คิดค้นและผลิตบารอมิเตอร์แบบแอนรอยด์ ซึ่งใช้ส่วนขยายของสปริงเพื่อวัดความดันบรรยากาศ ในปี ค.ศ. 1849 Eugène Bourdon ได้รับสิทธิบัตรสำหรับเกจวัดแรงดันแบบท่อ Bourdon ในปี 1930 Walter Gref ได้คิดค้นกลไกเซ็นเซอร์ตัวแรกที่สามารถแปลงการแทนที่แรงดันเชิงกลให้เป็นสัญญาณไฟฟ้าได้ ในปี 1965 Statham ได้เปิดตัวตัวแปลงสัญญาณแบบฟิล์มบาง-ซึ่งมีความเสถียรสูงและฮิสเทรีซีสต่ำ ซึ่งถือเป็นความก้าวหน้าทางเทคโนโลยีที่สำคัญในการวัดแรงดันสูง- ในปี 1967 Art R. Zias และ John Egan ได้ยื่นสิทธิบัตรสำหรับ-ไดอะแฟรมซิลิคอนที่มีข้อจำกัดของขอบ ซึ่งถือเป็นการเปิดศักราชใหม่ของเทคโนโลยีเซ็นเซอร์ ในปี 1969 Hans W. Keller ได้ยื่นสิทธิบัตรสำหรับ-เซ็นเซอร์ซิลิคอนที่ผลิตจำนวนมาก ในปีพ.ศ. 2516 William R. Polye ได้ยื่นจดสิทธิบัตรสำหรับเซ็นเซอร์เก็บประจุแบบแก้วหรือควอตซ์ ในปี 1979 Bob Bell จาก Kavlico ใช้เทคโนโลยีนี้กับพื้นผิวเซรามิก ซึ่งเติมเต็มช่องว่างในความสามารถในการวัดความดันต่ำ- ในปี 1994 บริษัท Yokogawa ของญี่ปุ่นได้คิดค้น-เทคโนโลยีเซนเซอร์คริสตัลซิลิคอนเรโซแนนซ์เดี่ยว ภายในปี 2000 เทคโนโลยีพายโซรีซิสทีฟได้กลายเป็นหนึ่งในเทคโนโลยีเซ็นเซอร์ความดันที่แพร่หลายมากที่สุด ซึ่งเหมาะสำหรับโหมดความดันและการวัดที่หลากหลาย